模糊判别法用于提高金丝键合拉力强度的工艺优化
来源： 日期：2012-12-15 00:04:58 人气： 标签：
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"模糊判别法用于提高金丝键合拉力强度的工艺优化
李孝轩，李冰川，禹胜林
(南京电子技术研究所，江苏南京210013)
摘要：概述了模糊判别法用于提高金丝键合拉力强度的工艺优化状况。主要对金丝键合前应采取何种等离子清洗工艺给出了一个较为量化的评价结果，其演算的结果代表了各种清洗情形下的好坏趋势，对提高金丝键合拉力强度起到工艺优化的指导作用。
关键词：模糊,键合,等离子,评价
中图分类号：TG454 文献标识码：A 文章编号：1001-2303(2008)09-0050-04
Applicationofthefuzzyevalutionongoldwire-bondingprecessoptimization
LIXiao-xuan，LIBing-chuan，YUSheng-lin
(NanjingResearchInstituteofElectronicsTechnology，Nanjing210013，China)Abstract：Thispapersummarizestheapplicationofthefuzzyevalutionongoldwire?bondingprocessoptimization．Anevalutionofrelativequantizationarepresentedaboutapplingvarioustheplasmacleaningprocessbeforewire?bonding，andit?soperationresultreflectthegoodorbadtrendofthevariousplasmaprocess．Theresultisaguidetooptimizethewire?bondingprocessfoeimprovingthebondingstrength．
Keywords：fuzzy；bonding；plasma；evalution
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