| 美国联邦标准FS209E中的洁净等级 |
发布时间：2011-4-21 23:32:20 发布人：cswok
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等级名称 | | 等级限值 | | | | | | | | | | | | | 0.1μm | | 0.2μm | | 0.3μm | | 0.5μm | | 5μm | | | | | 容积单位 | | 容积单位 | | 容积单位 | | 容积单位 | | 容积单位 | | 国际单位 | 英制
单位 | m3 | Ft3 | m3 | Ft3 | m3 | Ft3 | m3 | Ft3 | m3 | Ft3 | M1.0 | | 350 | 9.91 | 75.7 | 2.14 | 30.9 | 0.875 | 10 | 0.283 | / | / | M1.5 | 1 | 1240 | 35.0 | 265.0 | 7.5 | 106 | 3 | 35.3 | 1 | / | / | M2.0 | | 3500 | 99.1 | 757 | 21.4 | 309 | 8.75 | 100 | 2.83 | / | / | M2.5 | 10 | 12400 | 350.0 | 2650 | 75 | 1060 | 30 | 353 | 10 | / | / | M3.0 | | 35000 | 991.0 | 7570 | 214 | 3090 | 87.5 | 1000 | 28.3 | / | / | M3.5 | 100 | / | / | 26500 | 750 | 10600 | 300 | 3530 | 100 | / | / | M4.0 | | / | / | 75700 | 2140 | 30900 | 875 | 10000 | 283 | / | / | M4.5 | 1000 | / | / | / | / | / | / | 35300 | 1000 | 247 | 7 | M5.0 | | / | / | / | / | / | / | 100000 | 2830 | 618 | 17.5 | M5.5 | 10000 | / | / | / | / | / | / | 353000 | 10000 | 2470 | 70 | M6.0 | | / | / | / | / | / | / | 1000000 | 28300 | 6180 | 175 | M6.5 | 100000 | / | / | / | / | / | / | 3530000 | 100000 | 24700 | 700 | M7.0 | | / | / | / | / | / | / | 10000000 | 283000 | 61800 | 1750 |
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